苏州电子行业净化车间,无尘车间,洁净车间装修温湿度要求
电子制造业
在电子行业制造车间是zui重要产生静电的地方,通常静电会对产品造成短路甚至会造成员工导电晕倒事故,所以电子行业的无尘车间相对湿度不应低于30%,这样即可以减少静电的产生,通常建议无尘车间的防静电区域相对湿度不低于50%。过于干燥的空气中易粉尘飞扬,电子厂无尘车间无特殊要求的情况下,温度控制在22 ℃ 左右,相对湿度控制在 55 ~ 60%RH 之间,在这种环境下,人们感觉舒适,静电也消失了。
集成电路生产加工行业
在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间不宜超过25度。湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,如果发生在精密装置或电路中,就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。
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